该厂为85英寸晶圆分娩线配套方案的超软水软件，每一刻行成含硅污废水 150吨。污废水 中虽无巨资属，但硅含量高易积灰，且热敏电阻率需高达18MΩ·cm功能循环。已有加工处理工学院艺無法需求新颁布法律的《电子为了满足电子时代发展的需求，工业品水生态破坏物废气标准化》（GB39731-2020）特殊废气限制值。 工业废水的成分共同点 主要是影响物 ：固体硅（200-300mg/L）、颗粒状硅（颗粒直径0.1-1μm） 特色想要 ：TOC<10μg/L，硼水分含量<5μg/L 水质监测优点 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅化学物质姿态简化 工作工艺设计流程图 创新性选择"梯级膜转移+电去阴离子"结合施工工艺： 微滤预加工 ：1μm卫浴陶瓷膜电话拦截大顆粒硅，通量稳定80LMH 化合物变换树脂材料 ：D201大孔环氧树脂选购性物理吸附硅酸大分子 五级RO装置 ：一、段收旧率60%，第十二段所采用高脱硼膜电气元件 EDI电去阴离子 ：直流电压密度计算2A/m²，维持除掉残存阴离子 紫外光消菌 ：254nm太阳光的紫外光线含水量40mJ/cm² 方法不足之处 设计专用工具阻硅剂（有机质胺类软型物），廷迟膜被污染的生长期3倍 EDI控制器科技创新流道设计制作，硅弄掉率提高至99.8% 在线免费硅分折仪（检测标准0.1-500μg/L）改变准确控制 运动初步成效 经然后方查测： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼分量从8μg/L减至0.3μg/L 程序收旧率从原40%的提升至68% 膜换个频次提高至5年，年运作投资成本拉低35%