昆明某半导体心片心片制作业厂，晶圆生产加工步骤中存在含硅、氟的特定废液，设定办理产值1200吨/日。废液含量比较复杂，有效納米级硅小粒及盐酸，傳統办理最简单的方法难于不合格。 废渣成分表及的来源 重点造成的污染源 ：橡胶胶体部分硅（100-500nm孔径）、氟阳离子（200-300mg/L）、异丙醇 渠道工艺技术 ：晶圆刻蚀生活污水（45%）、CMP药剂学设配打蜡 生活污水（40%）、设配清扫冲洗水（15%） 加工处理技术工作流程 自主创新采用了"有机化学滤渣+特总膜分离出来"技木行车路线： 钙盐结晶 ：污泥脱水氯化钙除去氟铁离子（形成CaF2沉淀物） 斜管沉淀池发生反应 ：结合二沉池剂确保悬浊液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm口径膜虚报冒领微细粒状 反融入系统的 ：脱盐率>98%，收购率75% 化掉析出 ：浓水段实行氟化物零尾气排放 结果是治疗效果 氟化物溶度：<8mg/L（压低国特级标准规范10mg/L） 硅纯度：<5mg/L 水材料工业废水处理率：70%用来冷确塔保湿 危险废弃物减量化：汽化杂质量较中国传统工序可以减少60%